探針臺是一種很專業(yè)的儀器，它主要的功能就是針對半導(dǎo)體元件進行檢測，這里面說的半導(dǎo)體元件指的是集成電路，分立器件，光電器件，傳感器等元件以及封裝的測試。通過探針臺配合測量儀器可完成集成電路的電壓，電流，電阻和電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。可以適用于對芯片進行科研分析，抽查檢測等；可以保證這些半導(dǎo)體元件的質(zhì)量，縮短研發(fā)時間和器件制作工藝的成本，所以，它的存在對于制造半導(dǎo)體的企業(yè)來說是非常重要的。

  隨著半導(dǎo)體市場的逐步開放和增長，作為半導(dǎo)體檢測的必備儀器—探針臺的市場也在逐年增長和擴大中，不論是海外品牌還是國產(chǎn)品牌，近幾年在半導(dǎo)體檢測儀器市場中的規(guī)模都在逐年擴大。

  從全球的探針臺市場來看，目前還是以國外的企業(yè)為主導(dǎo)，他們占據(jù)了大部分的探針臺市場。近乎7成的市場份額都被國外探針臺企業(yè)所占據(jù)，僅有3成的市場由臺灣企業(yè)及國內(nèi)的廠商占據(jù)，可以說比重較低。

  由于我國在半導(dǎo)體市場上長期被國外企業(yè)掣肘，因此，我國已經(jīng)開始下大力氣在半導(dǎo)體的研發(fā)中了，國家會給半導(dǎo)體行業(yè)很多政策上的扶持。所以，國內(nèi)的探針臺企業(yè)也在努力力爭上游，帶著研發(fā)團隊不斷提升自身技術(shù)和自身的競爭力。相信在不久的將來，我國半導(dǎo)體行業(yè)將會有飛躍性的進展。

  探針臺按照功能區(qū)分，分為常溫探針臺，高溫探針臺，高低溫探針臺，以及霍爾探針臺還有其他定制型專用探針臺等，而目前常溫探針臺，高溫探針臺無論是性能還是操作使用便捷性上，都已經(jīng)足以媲美進口品牌，而高低溫探針臺液氮（77K）溫區(qū)經(jīng)過這幾年的發(fā)展品質(zhì)也足夠穩(wěn)定，至于超低溫液氦（4K）溫區(qū)還在需要更多的磨練與發(fā)展。但是這里值得注意的是不管處于哪個技術(shù)要求下的探針臺，國產(chǎn)探針臺的價格都能比進口探針臺相差幾倍，甚至幾十倍之大。

　　以下是探針臺選型注意事項

　　※最大需要測幾inch的晶圓或者器件？是否需要測試破片或者單顆芯片，最小的單顆芯片尺寸？

　　※探針臺機械精度要求多高？

　　※點測樣品的電極尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內(nèi)部的metal線路？

　　※最多需要幾個探針同時去點測？

　　※是否會用到探針卡測試？

　　※光學(xué)顯微鏡的最小分辨率需要用到多少？

　　※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測？

　　※探針點測時，對電流的要求能否達到100fa或者以下？低

　　電容要求能否要做到0.1pf？是否有射頻需求？

　　※接駁的測試儀器接口有哪些？

　　※測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫？ 是否需要密閉腔體？

　　※對chuck的漏電要求怎樣？是否需要添加低阻抗chuck？

　　※是否需要防震桌？

　　※若添置防震桌，是否有壓縮空氣？